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Wolfram Sputtering Taget
Raytec-Metall verfügt über umfangreiche Erfahrung in der Herstellung von Wolfram-Sputtertargets mit verschiedenen Formen und Reinheiten, die hauptsächlich auf Halbleiter- und Mikroelektronik angewendet werden. Als Bestandteil der in TFT-LCD-Bildschirmen verwendeten Dünnschichttransistoren sind Wolframschichten aufgrund des höchsten Schmelzpunkts aller Metalle unter Hochtemperaturbedingungen äußerst stabil. Dank der von uns verwendeten speziellen Umformverfahren verfügen unsere Wolfram-Sputtertargets über eine höhere Dichte, eine kleinere durchschnittliche Partikelgröße sowie eine hohe Reinheit. Dadurch können Sie aufgrund höherer Sputtergeschwindigkeiten von einem schnelleren Prozess profitieren und sehr homogene Wolframschichten erhalten.
Die Flexibilität unseres Produktionsprozesses ermöglicht es, die Mikrostruktur unseres Beschichtungsmaterials anzupassen, um den gewünschten Effekt zu erzielen. Die durchschnittliche Korngröße unseres Wolfram-Sputtertargets beträgt weniger als 100 μm. Sie können von konstanten Erosionsraten und homogenen Schichten profitieren.
Die chemische Reinheit ist entscheidend für Metallsputtertargets. Wenn die Reinheit höher ist, besitzen die von Ihnen erhaltenen Filme eine bessere elektrische Leitfähigkeit und minimieren die Partikelbildung während des PVD-Prozesses. Das folgende Formular enthält ein typisches Analysezertifikat für ein hochreines 3N5-Wolfram-Sputtertarget.
Analysemethoden: 1. Metallische Elemente wurden unter Verwendung von ICP-OES analysiert. 2. Gaselemente wurden mit LECO analysiert.
EIGENSCHAFTEN VON TUNGSTEN
Reines Wolfram ist ein Übergangsmetall mit dem höchsten Schmelzpunkt aller bekannten Metallelemente: 3422 ° C (6192 ° F). Sein Siedepunkt reicht sogar noch weiter bis auf ungefähr 5700 ° C (10.292 ° F). Es hat einen außergewöhnlich niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten bei Raumtemperatur von 4,6 mm / mK in Kombination mit einer Wärmeleitfähigkeit bei hoher Raumtemperatur von 155 W / mK.
Die Dichte von Wolfram ist ähnlich der von Gold (Au): 19,3 g / cm 3 . Dies erklärt die Herkunft des Metallnamens, der wörtlich übersetzt "schwerer Stein" bedeutet.
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